清远珠海空气净化工程
清远珠海空气净化工程
清远珠海空气净化工程
缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板之吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。 (1)洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域 覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之 工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。 洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。 (2)洁净管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁 净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为 适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。 (3)并装局部洁净室(Clean Spot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、 洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
洁净工作台:等级Class 1~100级。 洁净工作棚:为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间,其 等级为10~1000级,高度在2.5米左右,覆盖面积约10m2以下,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用。
编辑本段
经济和科技发达的国家和地区都有自己的空气洁净标准和规范标准,都规定了有关的洁净度等级,例如美国、日本、西欧、北欧、俄罗斯等。我国于1984年颁 布《洁净厂房设计规范》(GBJ73-84),1996年该规范进行了较大的修改,1990年颁布《洁净室施工及验收规范》(JGJ71-90)以指导施 工和验收的重要文件。目前,该规范在重新修订中。 GBJ73-84规定的洁净度等级
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